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21世纪X有发展前景的现代抛光技术【昆山去毛刺抛光机】
双面去毛刺抛光机伺服加载系统
在双面抛光机中,气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行X控制,从而保证抛光质量。为了达到这一要求,提出了气动伺服加载系统并引入特殊设计的气动数字伺服阀。同时对气动伺服加载系统进行数学建和模块化分析,X后进行了实验研究。表明气动伺服加载系统能满足双面抛光的要求,可以加工出双面X平滑的硅片。
双面去毛刺抛光机的结构
一种精密双面抛光机，包括机架、主轴传动机构、上抛光盘传动机构，主轴传动机构连接下抛光盘、内齿圈、外齿圈以及与上抛光盘配合的连接件，内齿圈与外齿圈之间啮合用于放置工件的行星轮，上抛光盘传动机构位于主轴传动机构的上方，上抛光盘传动机构包括安装在机架上的驱动装置，驱动装置带有活塞杆，活塞杆与上抛光盘连接，采用四个变频电机拖动上下抛盘、内齿圈、外齿圈的四动抛光原理来进行传动系统的设计，且采用轴套结构使四轴同心；驱动装置连接用于调节加载压力大小的压力调节阀，在活塞杆与上抛光盘的连接处安装压力传感器，能够X控制上抛光盘的压力。本发明结构紧凑、可实现无X调速、加工过程平稳性佳、可X提升抛光效率
21世纪X有发展前景的现代抛光技术【昆山去毛刺抛光机】
