DSN MASS FLOW CONTROLLER 700A
型号DSN MFC-700A(通用常温、常压，单电源或双电源供电可选）
标定N2
接口1/4 卡套或1/4 VCR
阀状态常闭
电气接口
DP9 FAMALE Modbus RTU
DP9 MALE 模拟0~5v或者4~20mA,
密封VITON
工作温度0~50°C（高温DSN MFC700HT)
存储条件 -20°C~50°C
入口压力小于1Mpa（高压DSN MFC700HP)
耐压10Mpa
供电 +/-15Vdc,0.5A（24vdc,1A DSN MFC700DA)
电气特性
精度1%（通常），（0.5%F.S，请使用MODBUS RTU 接口，参照DSN MFC700D）
MFC控制范围2.0%~100%f.s
响应时间0.8秒（100%设定时）
量程范围
SCCM 5，10，20，50，100，200，500，1000，2000，5000
SLPM 10，20，50，100
工作压差MFC
小于等于5000sccm;0.1~0.3MPa
大于等于10SLPM;0.1~0.3MPa
压力系数0.02%F.S
重复性0.2%F.S
温度系数
零点500PPM
F.S 1000PPM
预热15分钟
产品实拍图：
