产品指标 Products Specificatiou
产品名称: | DSN-B 气体质量流量计 热式气体质量流量控制器 |
产品型号: | DSN-B |
特性: | DSN-B型 MFC/MFM (气体流量范围X大300SLM) 本产品采用“激光分选”工艺制作的微型传感器,气体层流结构精密均匀,高耐腐蚀,使得MFC具有更X越的性能X势: 1.高的可靠性、稳定性和重复性。 2.高精密的控制机构。 3.高速响应 MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。 4.长寿命(正常使用可达十年以上)。 5.采用微小尺寸的传感器,消除了“传感器”本身热效应对层流的破坏,“零点漂移”小于1%。 6.可自行清除工作过程中的表面污物(注:此项操作须在生产厂家进行)。 7.适应于一切气体(包括腐蚀性气)。 8.一体化设计,X越的抗电磁干扰性能。 |
外形尺寸(不带接头): | 130*45*140(mm) |
重量: | 2.3KG |
流量范围: | 0-300L/min |
工作压差: | 0.05-0.35Mpa |
电源: | ±15V,电流不低于500 m A |
泄漏率 : | < 1×10-8sccs He |
耐压: | 3Mpa |
. 材料: | 316L |
标准密封: | Viton® O-ring |
工作环境温度: | 0-45℃ |
接口尺寸: | Ø10 3/8(通径Ø6, Ø8)附:压差流量对照表 工作压差(MPa) 0.1 0.2 0.25 0.3 0.35 流量范围(SLM) 0~100 0~200 0~250 0~300 0~300 |